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    KS-S150
    星型全自動涂膠顯影機

    KS-S150星型全自動涂膠顯影機用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導體的涂膠顯影等制程??杉嫒菟{寶石、砷化鎵和碳化硅等材質的晶圓,產品涉及多個應用領域,涂膠機產能大于190片/小時。設備通過了CSA認證。
    產品優勢:
    • 1.占地小、穩定性高、操作與維護方便

      2.產能高,涂膠機產能大于190片/小時

      3.光刻膠用量小,4寸用量0.6ml

      4.優異的流場設計,涂膠均勻性好

    應用領域:

    ●傳感器芯片制造

    ●光通信芯片制造

    ●功率芯片制造

    ●LED芯片制造

    ●圖形化襯底制造

    ●化合物半導體領域

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